真空工况专用轴承

产品列表

• • 填充洁净润滑脂轴承（FG9润滑脂）
    填充洁净润滑脂轴承（FG9润滑脂）

    不锈钢轴承内部填充氟基洁净润滑脂FG9，适用于大气～真空环境下的洁净工况。

    特点

    • 油脂飞散、发尘少。
    • 优异的耐热性。

    应用实例

    • 半导体制造设备
    • 有机EL 制造设备
  • 混合型轴承
    混合型轴承

    混合型轴承是由陶瓷球与氟基固体润滑保持架组合而成的轴承，适用于于大气～真空腐蚀工况。

    特点

    • 无润滑脂。
    • 采用氟基保持架的固体润滑。

    应用实例

    • 真空输送设备
    • 检测设备
  • 纯净润滑剂V-DFO、E-DFO轴承
    纯净润滑剂V-DFO、E-DFO轴承

    DFO轴承的内外圈、球及保持架均实施超低蒸气压烃油镀膜（E-DFO）、氟基油镀膜（V-DFO）处理，是洁净和具有长寿命特性的新概念型轴承。适用于从大气~真空环境下的洁净工况。

    特点

    • 比洁净润滑脂发尘量更少。
    • 排气量小。

    应用实例

    • 半导体制造设备
    • 有机EL制造设备
  • YS型隔垫式耐高温轴承
    YS型隔垫式耐高温轴承

    YS型隔垫式耐高温轴承，是在滚动体之间设置了合金类自润滑材料（粉末冶金）隔垫的轴承，适用于真空、高温工况。

    特点

    • 可承受高真空和高达350°C的高温。
    • 采用固体润滑隔垫，寿命长。

    应用实例

    • 离子注入设备
    • 溅射设备
  • SJ型耐高温固体润滑轴承
    SJ型耐高温固体润滑轴承

    SJ型耐高温固体润滑轴承，是在每个保持架内两个滚动体之间设置固体润滑隔垫，呈“豆角”结构的轴承产品。适用于真空、高温工况。

    特点

    • 可在真空和大气中承受高达400°C的高温。
    • 采用固体润滑隔垫进行润滑，结合保持架结构，寿命长。

    应用实例

    • 窑炉内搬运设备
    • 高温薄膜制造设备
  • 全陶瓷轴承（氧化物类陶瓷）
    全陶瓷轴承（氧化物类陶瓷）

    内外圈及球均由陶瓷材料构成，是以氟基自润滑保持架实现润滑的轴承，适于大气～真空中的腐蚀工况及非磁性工况。

    特点

    • 具有极高的耐蚀性，非磁性轴承。
    • 卓越的耐磨性，寿命长。

    应用实例

    • 半导体制造设备
    • 有机EL制造设备